掃描電鏡與能譜分析
掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀掃描電子顯微鏡察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點是，①有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu)；③試樣制備簡單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置（EDS），這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。
應(yīng)用領(lǐng)域：微觀形貌觀察、半定量成分分析。
參考標準：GB/T 17359等。